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TOYO納米產品介紹

2023-11-23 14:29:56 徽碩實業 7

TOYO納米產品介紹

一、TOYO空氣軸承XYZθ平臺

TOYO空氣軸承XYZθ平臺適用于半導體和光罩檢查機有效行程可達500x500mm

平面度<5μm重復精度<1μm VC-C抑震等級

Toyo Robot

二、TOYO共面式空氣軸承平臺

TOYO共面式空氣軸承平臺適用于半導體產業和PCB印刷電路板,內含空氣軸承平面,空氣軸承與接觸式的滾動軸承不同于運用一層壓縮的空氣薄膜,提供了一個無摩擦可承受負載的軸承接口。

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三、TOYO共面式空氣軸承

TOYO共面式空氣軸承適用于半導體、光罩檢查機等設備,內嵌式空氣軸承在高速度、高加速度運動的情況下,達到了運動零噪音,且無磨擦、零磨耗,擁有優良的運動精度(六個自由度),同時較高的阻尼,有利于運動的穩定性,符合節能趨勢,耗氣量<20L/min。

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四、TOYO龍門XYZ線馬平臺

TOYO龍門XYZ線馬平臺適用于3C產業貼合設備有效行程可達1000x700x40mm XY最大速度1m/sec Z最大速度0.2m/sec重復精度±2μm。

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五、TOYO空氣軸承龍門平臺

TOYO空氣軸承龍門平臺適用于半導體和Micro LED AOI檢查設備 XYZ行程400x400x50mm重復精度<0.5μm平面直線度<2μm。

速度瀲波100mm/sec<0.1%

龍門軸Yaw補償結構。

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